Метод термического испарения в вакууме

Образцы WO3, Cu, WO3 — Cu, Cu — WO3 были получены методом термического испарения в вакууме на приборе “ВУП-5М” при давлении 2•10‑3 Па (испаритель – молибденовая лодочка, расстояние между испарителем и подложкой – 10 см). Образцы наносили на предварительно очищенные [10] стеклянные подложки (ГОСТ 9284 – 59) площадью 0,0004-0,0007 м2. После нанесения пленок определяли толщину гравиметрическим [11] методом.

Взвешивание осуществляли на весах “ВЛР — 200” с точностью до 5•10-5 г. Толщина пленок составляла 10-8 — 10-9 м (результаты представлены в таблице 3.1). Далее образцы подвергали термической обработке в сушильном шкафу “Memmert BE 300” при температуре 323 К.

При этом образцы помещали на разогретую до указанной температуры фарфоровую пластину и подвергали термообработке в течение 1, 5, 10, 30, 60, 120 минут в атмосферных условиях. Регистрацию эффектов изменения оптических свойств (поглощение, отражение, пропускание) в диапазоне длин волн 190 — 1100 нм осуществляли, используя спектрофотометр “Shimadzu UV–1700” (приставка зеркального отражения № 200-63687).

Таблица 3.1
Образец Толщина пленок (d), м
Cu 1,38•10-8
WO3 (1) 2,99•10-8
WO3Cu 4,11•10-8(WO3), 3,032•10-8(Cu)
Сu — WO3 9,51•109(Cu), 1,17•108(WO3)
WO3 (2) 9,09•109
Ссылка на основную публикацию
Adblock detector