Вакуумная установка ВУП-5М

Процесс нанесения тонких пленок в вакууме состоит в создании (генерации) потока и частиц, направленного в сторону подложки, и последующей их конденсации с образованием тонкопленочных слоев на покрываемой поверхности. В соответствии с этим вакуумная установка для нанесения тонких пленок состоит из следующих основных элементов:

  1. вакуумной системы, обеспечивающей требуемые условия для проведения технологического процесса;
  2. генератора потока частиц осаждаемого материала;
  3. транспортно – позиционирующих устройств, обеспечивающих ввод подложек в зону нанесения пленок и ориентирование обрабатываемых поверхностей относительно потока частиц наносимого материала.

Процесс нанесения  тонких пленок в вакууме включает следующие основные операции:                                             

  1. установку и закрепление подложек на подложкодержателе при открытом рабочем объеме;
  2. откачку рабочего объема до требуемого вакуума;
  3. включение источника, создающего атомарный(молекулярный) поток осаждаемого вещества и нанесение пленки определенной толщины при постоянно работающих источнике потока частиц и вакуумной системе;
  4. выключение источника потока частиц, охлаждение подложек и напуск воздуха в рабочую камеру до атмосферного давления; извлечение подложек с подложкодержателя.

В моей работе нанесение пленок осуществлялось методом термического испарения в вакууме, основанного на нагреве веществ в молибденовых лодочках до температуры, при которой начинается заметный процесс испарения, и последующей конденсации паров вещества в виде тонких пленок на стеклянных подложках, расположенных на некотором расстоянии от испарителя.

Схема вакуумной установки представлена на рисунке

Схема вакуумной установки

CN — объем рабочий (РО);

ND — насос диффузионный (НД);

NL — насос форвакуумный (НФ);

BF — баллон форвакуумный;

V1-V8 — клапаны коммутации вакуумной системы;

P1, Р2, Р4 — датчики термопарные ПМТ-2;

P3 — датчик ионизационный ПМИ-2.

Рабочая вакуумная камера (РО) представляет собой цилиндрический колпак из нержавеющей стали, который шарнирно связан с основанием и может подниматься вверх для доступа к вакуумируемым объектам и устройствам. В закрытом состоянии колпак герметизируется уплотняющей кольцевой прокладкой из вакуумной резины, расположенной в желобе основания.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector