Вакуумный универсальный пост ВУП-5М

Вакуумный универсальный пост «ВУП-5М» — многофункциональный прибор. Одно из его назначений — контролируемое нанесение методом термического испарения в высоком вакууме различных материалов. На рис. 25 представлена схема вакуумной системы «ВУП-5М».

Рабочий объем (CN) может откачиваться форвакуумным насосом (NL): а) через систему трубопроводов и магнитный клапан (V7), б) через систему трубопроводов, магнитные клапаны (V4, V5, V6), в) через систему трубопроводов, магнитные клапаны (V8), буферный баллон (BF), диффузионный насос (ND), для создания предварительного разряжения (1•10‑1 Пa). После создания предварительного разряжения включается диффузионный масляный насос (ND), при помощи которого реакционная камера откачивается до давления 1•10‑3 Па. Измерение давления в вакуумной системе обеспечивается манометрическими лампами ПМИ-2 (P3) и ПМТ-2 (P1, P2, P4). После окончания работы производится напуск воздуха через вентиль напуска (V1).

Схема вакуумной системы ВУП-5М
Схема вакуумной системы ВУП-5М

 

CN — объем рабочий (РО); ND — насос диффузионный (НД); NL — насос форвакуумный (НФ); BF — баллон форвакуумный; V1-V8 — клапаны коммутации вакуумной системы; P1, Р2, Р4 — датчики термопарные ПМТ-2; P3 — датчик ионизационный ПМИ-2

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector